激光干涉仪测量五轴机床旋转轴精度的方法

激光干涉仪是集光、机、电、传感技术、信息技术于一体的经典“测控技术”仪器,是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器,可以直接对米进行定义,可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量,以及进行位移分析、速度分析、加速度分析、FFT分析等动态测量,广泛应用于先进制造、科研院所、精密测量等领域。

激光干涉仪最主要的应用之一就是机床精度检测,下面给大家介绍一下如何用SJ6000激光干涉仪检测五轴机床旋转轴精度。

机床旋转轴精度测量系统包含激光头,角度干涉镜和角度反射镜,与平移轴倾斜误差测量类似,只不过旋转轴的角度反射镜是安装在转台组件上,该组件可以绕中心自身旋转。因此,在测量时,待测的旋转轴向正方向旋转某一个角度后,转台组件会沿着其逆方向精确地旋转该角度,例如待测轴沿正方向旋转15°,由于误差的存在,则可能旋转(15+ Δ)°;此时,转台组件会沿着逆方向精确旋转,即沿负方向精确旋转 15°,这样就使得角度干涉镜可以保持正对着激光头。而误差 Δ就是旋转轴的定位误差。

附录:SJ6000激光干涉仪旋转轴测量系统精度。

型号:WR50

角度测量范围:(0~360)°

测量精度:±1″

分辨力:0.1″

最高转速:10rpm

最高跟踪速度:2rpm

重量:1.9kg

高度:148mm

直径:112mm

通信方式:蓝牙传输

供电方式:锂电池。

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